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SUNX晶圓定位傳感器系列一覽

  • 產(chǎn)品型號(hào):HD-T1030
  • 更新時(shí)間:2025-03-24

簡(jiǎn)要描述:SUNX晶圓定位傳感器系列一覽
反應(yīng)時(shí)間0.5ms以下(8V/ms以上)
分辨率30μm(注2)
直線性±1.0%F.S.(檢測(cè)位置的檢測(cè)寬度28mm)(注3)
溫度特性±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3)

產(chǎn)品詳情

SUNX晶圓定位傳感器系列一覽

 結(jié)構(gòu)特點(diǎn):

雖然使用紅色LED作為光源,但仍然具有激光傳感器同樣的高,因此可實(shí)現(xiàn)高精度檢測(cè)。

無(wú)需光軸調(diào)整

投、受光部一體型,無(wú)需繁瑣的光軸調(diào)整。并且,檢測(cè)距離及檢測(cè)寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域,可對(duì)應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。

配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能

模擬輸出(1~5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外,還具備方便的偏移調(diào)整功能,可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。

使用安全的紅色LED作為光源,無(wú)需任何繁雜的安全措施。

無(wú)需使用激光時(shí)*的保護(hù)罩,在美國(guó)使用時(shí)不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。

使用ONE SHOT連接器將檢測(cè)頭與控制器連接。配線工時(shí)降低限度,維護(hù)輕松。

低消耗電流70mA以下

檢測(cè)頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的低功耗。

適用控制器 HD-T1C

檢測(cè)寬度 30mm(直線性按照28mm的寬度規(guī)定)

檢測(cè)距離 30mm(固定)(注2)

效果圖:

環(huán)


保護(hù)構(gòu)造IP40(IEC)
使用環(huán)境溫度0~+40℃(注意不可結(jié)露),存儲(chǔ)時(shí):-20~+55℃
使用環(huán)境濕度35~85%RH、存儲(chǔ)時(shí):35~85%RH
使用環(huán)境照明度白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度3,000lx以下
耐電壓AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
緣電阻所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振動(dòng)頻率10~150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時(shí)
耐沖擊加速度490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次

SUNX晶圓定位傳感器系列一覽

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